近年來(lái)發(fā)展迅速,反轉(zhuǎn)霍爾轉(zhuǎn)速傳感器得到廣泛發(fā)展
更新時(shí)間:2019-04-23 點(diǎn)擊次數(shù):1200次
反轉(zhuǎn)霍爾轉(zhuǎn)速傳感器以壓敏電容為核心,近年來(lái)發(fā)展迅速。力敏電容器的電容是由電極的面積和電極之間的距離決定的。當(dāng)硅隔膜兩側(cè)存在壓差時(shí),硅隔膜會(huì)發(fā)生變形,電容板之間的間距會(huì)發(fā)生變化,從而導(dǎo)致電容的變化。這樣,電容的變化與壓差有關(guān),可以作為力敏傳感器。與反轉(zhuǎn)霍爾轉(zhuǎn)速傳感器相比,熱膨脹傳感器具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、壓力范圍大等特點(diǎn)。
因?yàn)?strong>反轉(zhuǎn)霍爾轉(zhuǎn)速傳感器直接接觸被測(cè)液體介質(zhì),考慮到使用它在石油石化行業(yè),液體通常是腐蝕性,具有破壞性的精密儀器,導(dǎo)致維護(hù)和其他后續(xù)工作,基于這個(gè)原因,壓力變送器分為通用型和孤立的類(lèi)型。通用墨盒類(lèi)型壓力傳感器是通過(guò)零保護(hù)子宮內(nèi)膜的發(fā)射機(jī)和被測(cè)介質(zhì)接觸,和隔離式壓力變送器內(nèi)襯密封硅油,作為一種流體在波紋管的保護(hù),和聯(lián)系是振動(dòng)測(cè)量介質(zhì)的集成溫度傳感器的外膜,當(dāng)測(cè)量中壓外膜,硅油膜將保護(hù)流體壓力轉(zhuǎn)嫁到普通波紋管,另一點(diǎn),相比之下,總體壓力變送器隔離式壓力變送器的優(yōu)勢(shì)不會(huì)機(jī)導(dǎo)管波紋管堵塞,因?yàn)橥ǔy(cè)量與骯臟的物質(zhì)媒介,甚至經(jīng)??梢宰柚共y管由于從發(fā)射機(jī)中,會(huì)產(chǎn)生結(jié)晶,這迫使介質(zhì)壓力變送器,這將導(dǎo)致壓力變送器不能正常工作,甚至大面積癱瘓,延誤工期。
反轉(zhuǎn)霍爾轉(zhuǎn)速傳感器作為壓力傳遞的重要計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)裝置,具有十分重要的意義。然而,活塞式壓力計(jì)的測(cè)量過(guò)程有非常高的要求等一系列經(jīng)驗(yàn)積累水平的實(shí)際操作算子,以及復(fù)雜的操作過(guò)程將導(dǎo)致其他錯(cuò)誤的引入在計(jì)量學(xué)家的主觀意愿,影響價(jià)值轉(zhuǎn)移的準(zhǔn)確性。特別是在活塞調(diào)平的過(guò)程中,沒(méi)有相當(dāng)?shù)慕?jīng)驗(yàn)積累和活塞壓力表的操作感覺(jué)簡(jiǎn)直是不完整的。為了解決這一問(wèn)題,在活塞式壓力計(jì)的測(cè)量過(guò)程中引入了集成振動(dòng)溫度變送器,簡(jiǎn)化了操作過(guò)程,使活塞式壓力計(jì)的測(cè)量更容易學(xué)習(xí)和掌握,保證了壓力力值的準(zhǔn)確可靠傳遞。該發(fā)射機(jī)可與多種穩(wěn)壓器配套使用,特別適用于微機(jī)多通道數(shù)據(jù)采集、測(cè)量和控制??膳c我公司生產(chǎn)的智能工業(yè)信號(hào)檢測(cè)儀配套使用,構(gòu)成控制室多通道溫度循環(huán)檢測(cè)系統(tǒng)。相關(guān)產(chǎn)品:集成數(shù)顯溫度變送器
目前,反轉(zhuǎn)霍爾轉(zhuǎn)速傳感器產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于石油、化工、電廠、啤酒廠、醫(yī)藥、水泥、紡織、食品、環(huán)境監(jiān)測(cè)、鍋爐、橡膠等工業(yè)領(lǐng)域。集成溫度傳感器主要振動(dòng)性能常用的石油石化壓力信號(hào)的電子裝置,通過(guò)廣告轉(zhuǎn)換,反映在計(jì)算機(jī)操作,例如,比如水,例如,與液壓信號(hào)的電子設(shè)備壓力,相應(yīng)的電流(大多數(shù)發(fā)射機(jī)電流4 ~ 20 ma),通過(guò)相應(yīng)的算法公式推導(dǎo)出壓力變送器轉(zhuǎn)換壓力時(shí)產(chǎn)生的壓力信號(hào)的電流增加。
從宏觀上講,壓力集成振動(dòng)溫度變送器是一種壓力測(cè)量傳感器,實(shí)現(xiàn)壓力的大小,然后通過(guò)模塊電路,實(shí)現(xiàn)AD轉(zhuǎn)換,電壓或電流的可用范圍。微觀上,壓力在壓力作用下反映在集成硅元件上,迫使其在壓力作用下發(fā)生變形,使橋發(fā)生作用,得到相應(yīng)的電壓和電流。然后通過(guò)放大電路將前期得到的電壓和電流放大并轉(zhuǎn)換成可用的電壓或電流。
反轉(zhuǎn)霍爾轉(zhuǎn)速傳感器是一種應(yīng)用廣泛的傳感器。它是檢測(cè)氣體、液體和固體等各種物質(zhì)相互作用力能的總稱(chēng)。它還包括測(cè)量高于大氣壓的壓力表和測(cè)量低于大氣壓的真空表。
反轉(zhuǎn)霍爾轉(zhuǎn)速傳感器的種類(lèi)很多,傳統(tǒng)的測(cè)量方法是用彈性元件的變形和位移來(lái)表示,但其輸出量大、體積大、非線性大。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,基于半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性,開(kāi)發(fā)了半導(dǎo)體力敏傳感器。半導(dǎo)體力敏傳感器有硅壓阻型和電容型兩種。具有體積小、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)。當(dāng)半導(dǎo)體在晶體上受到向上的應(yīng)力時(shí),其電阻率會(huì)發(fā)生變化。
導(dǎo)體的電阻率變化和壓力之間的關(guān)系稱(chēng)為半導(dǎo)體壓阻效應(yīng),利用力學(xué)量傳感器制成的這種效應(yīng)稱(chēng)為力壓電阻式傳感器,它有兩種類(lèi)型,一種是半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)傳感器粘貼在彈性元件,稱(chēng)為粘貼壓阻傳感器類(lèi)型,另一種是集成電路的襯底半導(dǎo)體材料的技術(shù)擴(kuò)散阻力,制作應(yīng)變片傳感器,與整個(gè)硅基板形成同類(lèi)型的擴(kuò)散壓阻傳感器。
反轉(zhuǎn)霍爾轉(zhuǎn)速傳感器由四個(gè)半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)實(shí)現(xiàn)橋梁形式,使用膠水粘彈性元件,它具有非常高的應(yīng)變靈敏度系數(shù),平均20 ~ 200,因此輸出高,輸出靈敏度一般15 ~ 0 mv / V,但容易產(chǎn)生零點(diǎn)漂移和蠕變,同時(shí)有半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)和熱膨脹彈性元件帶來(lái)的溫度漂移,等等。擴(kuò)散壓阻力傳感器大多采用單晶硅和半導(dǎo)體平面技術(shù)制成。一般以n型硅為基材,硼原子通過(guò)氧化、擴(kuò)散等過(guò)程沿給定的晶體方向擴(kuò)散成n型硅基材,形成p型擴(kuò)散層。在硼擴(kuò)散區(qū)形成應(yīng)變電阻,基體形成整體。當(dāng)它受到壓力時(shí),應(yīng)變電阻變化,輸出變化。